Ebooks de Ronald J. Gutmann en PDF

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Ronald J. Gutmann , Shyam P. Murarka , Joseph M. Steigerwald Chemical Mechanical Planarization of Microelectronic Materials Chemical Mechanical Planarization (CMP) plays an important role in today's microelectronics industry. With its ability to achieve global planarization, its universality (material insensitivity), its applicability to multimaterial surfaces, and its relative... Editeur : Wiley-VCH Parution : 2008-09-26 Format(s) : PDF 174,02 €

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